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硅粉质量对合成法生产三氯氢硅的影响
硅粉质量对合成法生产三氯氢硅的影响
来源 :氯碱工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qq439272757
【摘 要】
:
分析了硅粉质量对三氯氢硅合成的影响,包括:硅粉粒径对三氯氢硅收率和转化率的影响,硅粉含水量和杂质铝含量对系统运行稳定性的影响,以及杂质含量对合成三氯氢硅产品质量的影
【作 者】
:
平述煌
曾亚龙
李俊朝
陆大军
【机 构】
:
昆明冶研新材料股份有限公司
【出 处】
:
氯碱工业
【发表日期】
:
2015年5期
【关键词】
:
硅粉
三氯氢硅
收率
转化率
堵塞
silicon powder
trichlorosilane
yield
conversion rate
bl
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分析了硅粉质量对三氯氢硅合成的影响,包括:硅粉粒径对三氯氢硅收率和转化率的影响,硅粉含水量和杂质铝含量对系统运行稳定性的影响,以及杂质含量对合成三氯氢硅产品质量的影响.
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