硅粉质量对合成法生产三氯氢硅的影响

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分析了硅粉质量对三氯氢硅合成的影响,包括:硅粉粒径对三氯氢硅收率和转化率的影响,硅粉含水量和杂质铝含量对系统运行稳定性的影响,以及杂质含量对合成三氯氢硅产品质量的影响.
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