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用电子束蒸发方法淀积制备Ｘ射线激光稀土元素Ｙｂ薄膜靶，将薄膜靶在不同的环境气氛中进行氧化。用Ｘ射线光电子谱（ＸＰＳ）、俄歇电子谱（ＡＥＳ）和Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）方法研究了Ｙｂ薄膜靶表面氧化层的元素价态、组分和微观结构。发现薄膜表面氧化层中存在分层结构，干燥空气中储存的Ｙｂ薄膜表面氧化层由表及里的组分依次为化学吸附水、氢氧化物、氧化物及金属元素。表面氢氧化物和氧化物以非晶态形式存在。潮湿空气中水分是