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研究了一种硅微陀螺仪,为了提高品质因数,将其封装在Ф15.5mm×6mm的真空腔内.采用一种新方式实现了闭环自激驱动,该方式解耦了闭环驱动的相角和增益条件;优化设计了接口线路,消除了大部分耦合电容;推导开环检测时传递函数、静态灵敏度、带宽的表达式,并分析其影响因素.实验结果表明:驱动频率在1h内相对变化量为0.00022%;1h内驱动幅度相对变化量为0.0015%;标度因数为12mV/(°·s^-1),线性度为0.0758%,陀螺输出信号噪声低于131.6μV/Hz^1/2.