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为研制大功率紧凑型太赫兹源，开展了0.22 THz大功率太赫兹源的理论设计研究。THz源采用表面波振荡器结构。重点研究了慢波结构对太赫兹源产生信号的影响，并对慢波结构进行了优化。结合二极管参数的选取，对该源结构进行了粒子模拟，结果表明：在馈入电压200 kV，电流2900 A的条件下，输出信号频率为0.22 THz，输出功率为19.5 MW，效率约为3.3%。