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通过建立环形抛光的去除模型，从理论上分析了转速比、槽形、元件摆动对于抛光结果的影响，并分析了中频误差产生的原因。模拟结果表明：转速比的差异会产生较大的低频误差，而中频误差会随着低频误差的降低而降低；槽形是中频误差的主要来源，复杂的非对称不规律槽形使抛光路径复杂化，降低中频误差；同时元件的小幅度摆动能够使抛光更加均匀，减小定心式抛光造成的元件表面规则状纹路结构，从而有效减小元件的中频误差。