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介绍电子工业常用的真空机械手,阐述其工作原理、结构、回路。通过工和实例,介绍了实用的计算公工及真空系统的设计方法。
喷射式真空机械手
【摘 要】
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介绍电子工业常用的真空机械手,阐述其工作原理、结构、回路。通过工和实例,介绍了实用的计算公工及真空系统的设计方法。
【机 构】
：
桂林电子工业学院,桂林电子工业学院（541004）,（541004）
【出 处】
：
电子工艺技术
【发表日期】
：
1992年2期
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