【摘 要】
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分析了硅－玻璃静电键合界面受热循环作用，或者受反向电压作用后，在高温时，键合力的特点，实验验证了高温（４５０℃）时键合面牢固、稳定。研究结果表明高温压力传感器可以采用静电键合技术进
【机 构】
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哈尔滨工业大学微电子技术教研室,东北传感技术研究所,哈尔滨无线电七厂
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分析了硅－玻璃静电键合界面受热循环作用，或者受反向电压作用后，在高温时，键合力的特点，实验验证了高温（４５０℃）时键合面牢固、稳定。研究结果表明高温压力传感器可以采用静电键合技术进行封装。
The characteristics of the bonding force between the silicon-glass electrostatic interface and the heating cycle at high temperature (450 ℃) were analyzed. The bonding surface was stable and stable at high temperature (450 ℃). The results show that the high temperature pressure sensor can be sealed using electrostatic bonding technology.
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