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介绍用于MEMS自动微装配的机器人系统的构成，讨论组成该系统的若干关键技术，包括宏／微精密定位技术、显微视觉系统、微夹持器的设计、系统的标定以及装配策略．集成各单元技术．以外径＜2mm的微行星齿轮减速器为示范装配对象，研制能够完成微装配任务的微装配机器人．融合显微视觉和力信息，采用相应的装配策略，在2．5min内，实现难度最大的3个行星齿轮的自动装配．