15-75nm波段室温干燥空气的光谱分辨XUV透过率测量

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【摘要】

：

以McPHERSON 247型掠入射软射线-真空紫外单色仪配合5900 Magnum通道电子倍增器,在室温下测量了不同压强下干燥空气的15-75nm波段光谱分辨极紫外辐射(XUV)透过率,单色仪理论

【作者】

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齐立红张大威李忠芳陈淑妍尼启良巩岩陈

【机构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

【出处】

：

光谱实验室

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

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室温空气极紫外辐射(XUV)透过率光谱测量 Room-Temperatured Air XUV Transmission Spectral Measur

【基金项目】

：

国家自然科学基金，中国科学院知识创新工程项目

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以McPHERSON 247型掠入射软射线-真空紫外单色仪配合5900 Magnum通道电子倍增器,在室温下测量了不同压强下干燥空气的15-75nm波段光谱分辨极紫外辐射(XUV)透过率,单色仪理论光谱分辨率△λ≤0.075nm,波长扫描间隔0.5nm,有效吸收长度100mm.测量结果与Henke等人的数据进行了对比.

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