【摘 要】
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介绍了一种硅—蓝宝石高温大量程压力传感器的设计,提出了采用小直径C型膜片的一体化结构,通过合理排布力敏电阻条位置,能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出
【机 构】
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空军驻黑龙江地区军事代表室,中国电子科技集团公司第四十九研究所
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介绍了一种硅—蓝宝石高温大量程压力传感器的设计,提出了采用小直径C型膜片的一体化结构,通过合理排布力敏电阻条位置,能够制作出高精度大量程压力传感器。采用该设计研制出了量程分别为60MPa和100MPa压力传感器,其工作温度范围为-50~350℃;满量程输出≥100 mV;精度优于0.1%;迟滞与重复性均优于0.05%FS。
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