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光刻技术的现状和发展
光刻技术的现状和发展
来源 :红外技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sinner888
【摘 要】
:
着重从涂胶、曝光 (包括光源和曝光方式等 )、光刻胶和深度光刻等方面介绍了光刻技术的现状和未来的发展趋势
【作 者】
:
姜军
周芳
曾俊英
杨铁锋
【机 构】
:
昆明物理研究所
【出 处】
:
红外技术
【发表日期】
:
2002年06期
【关键词】
:
光刻
涂胶
光刻机
分辨率
光刻胶
曝光
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着重从涂胶、曝光 (包括光源和曝光方式等 )、光刻胶和深度光刻等方面介绍了光刻技术的现状和未来的发展趋势
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