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在高速钢和不锈钢基体上用脉冲偏压电弧离子镀技术制备了GRAlN薄膜,研究了脉冲偏压对薄膜成分、结构和性能的影响,并进行了900℃下的高温抗氧化性能检测。结果表明,薄膜中Al的相对含量随着脉冲偏压的增加而降低;薄膜的相结构由立方CrN和Al相组成;薄膜的硬度随脉冲偏压的增加而增大,在偏压幅值为-500V时,硬度可达21.5GPa;薄膜具有高达70N的膜基结合力;此外,薄膜在900℃的大气中保温10h,没有出现明显的氧化现象;在合成的三种薄膜中,在脉冲偏压为-500V×40kHz×40%时