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多晶硅薄膜材料已广泛应用干太阳能电池和集成电路制造等领域。本文综述了金属诱导非晶硅薄膜进行低温晶化的研兜，讨论了金属诱导法的晶化机理，分析了金属诱导晶化过租中的主要影响因素，对不同的金属诱导法进行比较。展望了金属诱导法的进一步发展。
金属诱导法制备多晶硅薄膜的研究进展
【摘 要】
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多晶硅薄膜材料已广泛应用干太阳能电池和集成电路制造等领域。本文综述了金属诱导非晶硅薄膜进行低温晶化的研兜，讨论了金属诱导法的晶化机理，分析了金属诱导晶化过租中的主要
【机 构】
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华南理工大学物理科学与技术学院
【出 处】
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轻金属
【发表日期】
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2006年11期
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