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提出了一种采用传统光学全息曝光技术，在同一芯片上制作不同周期的布拉格光栅的新方法，在这个简单实用的方法中，聚酰亚胺用来保护第一次做好的某一周期的光栅，这种新方法制作工艺简单，成本低，且与传统的半导体工艺兼容。
同一芯片上制作变周期布拉格光栅的改进全息曝光法
【摘 要】
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提出了一种采用传统光学全息曝光技术，在同一芯片上制作不同周期的布拉格光栅的新方法，在这个简单实用的方法中，聚酰亚胺用来保护第一次做好的某一周期的光栅，这种新方法制作工艺
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年7期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划（批准号：G20000683-1）,国家自然科学基金（批准号：90401025）,国家高技术研究发展计划（批准号：2002AA312150）资助项目
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