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期刊论文
光子辅助GaAs的干法腐蚀
光子辅助GaAs的干法腐蚀
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chinacode007
【摘 要】
:
业已用氟化氩激光的紫外线辐射完成了单晶砷化镓的大面积腐蚀。该工艺以甲基或三氟甲基与溴基的光化学反应为基础。具有各向异性腐蚀的特点,已腐蚀出小于1μ的线条。
【作 者】
:
Peter Brewer
Scott Halle
古月
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
激光波长
光解作用
反应物
各向异性腐蚀
干法腐蚀
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业已用氟化氩激光的紫外线辐射完成了单晶砷化镓的大面积腐蚀。该工艺以甲基或三氟甲基与溴基的光化学反应为基础。具有各向异性腐蚀的特点,已腐蚀出小于1μ的线条。
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