【摘 要】
：
利用玻璃的透光特性和紫外固化的成熟技术，研究了一种使用紫外固化胶作为中间层的玻璃／硅室温键合工艺．通过选择一定波段的紫外固化胶，旋涂紫外胶后使用365nm光刻机作为紫外光源
【机 构】
：
华中科技大学机械科学与工程学院,武汉光电国家实验室
论文部分内容阅读
利用玻璃的透光特性和紫外固化的成熟技术，研究了一种使用紫外固化胶作为中间层的玻璃／硅室温键合工艺．通过选择一定波段的紫外固化胶，旋涂紫外胶后使用365nm光刻机作为紫外光源控制紫外固化，从而实现了硅／玻璃的中间层键合．分析测试结果表明，紫外固化辅助的中间层键合可以成功应用于硅／玻璃键合，中间层厚5～6μm，键合强度达到26MPa．该工艺只需室温条件，简单高效，成本低廉，无需额外的压力或电场，对于硅／玻璃低温键合封装具有潜在的应用价值．
其他文献
为了实现提高学生的自主学习能力、合作交流能力以及分析、解决问题能力的要求,以及新课程提出的贴近学生、社会和生活,以现实生活为基础,以学科知识为依托,寓理论观点于社会
通与独之间,从哲学意义上来看,涉及到的是统一性与个体性、普遍性与特殊性、一般与个别、共相与殊相的关系。这是一个自古以来就受到中外哲学家关注的问题。在中国哲学史上,
在人口红利即将消失之际,我国就业问题呈现较为复杂的趋势。全球性的经济危机促使我国产业结构急需转型。在创新驱动、科教兴国战略和人才强国战略背景下,观察财政科教支出对
以天然产物松香酸为原料，分别经马来酸、丙烯酸和二氯亚砜化学改性得到马来松香酰氯和丙烯酸改性松香酰氯中间体，中间体在无水条件下经乙二胺氨解、乙二醇醇解分别合成了马来松
<正>民航"十二五"规划提出,要提高国际货运能力,鼓励货运公司间的并购、重组和业务合作,打造具有较强国际竞争力的全货运航空公司;积极、稳妥、有序、渐进地开放货运市场,引
随着我国社会主义市场经济的发展，企业的规模不断的扩大，企业和社会大众的利益具有广泛的相关性，其中广泛存在的一种行为就是关联交易行为。由于我国现在的法律制度不健全，企业基
分析火电厂各主要用水系统排水特点,指出水平衡优化的内容、目标及技术关键。结合实际调查结果,对火电厂用水水平的评价指标进行了讨论。
语言发展是思维发展的前提,语言教育是促进学前儿童思维发展的重要途径。每一时期语言教育的实施都是在一定的语言教育理念指导下进行的。学前儿童语言教育理念的演变与发展
经调查,大多数人对痘痘女的印象都不怎么好,比如身体状况不佳、脾气差、夜生活频繁、效率低常加班……不管你是20多,还是30多,要是因为几颗痘痘给人留下坏印象还真是"杯具"。
目的：在本课题组前期采用cDNA快速末端扩增法（RACE）得到膜蛋白PQ-LRP基因全长序列后，本实验拟构建犬小孢子菌PQ-LRP基因RNA干扰载体，探究RNA干扰载体对犬小孢子菌PQ-LRP基因表达的