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从单晶锗光学晶体结构入手,深入分析了光学晶体材料切屑切除与晶体结构方位的关系,确定了材料产生剪切滑移的最佳晶向,据此提出了在这些晶向上对单晶锗进行飞切加工的新工艺,从而有效地消除了已加工表面断裂破坏区,获得了表面粗糙度0.007～0.009μm均匀一致的光滑表面.
用飞切法加工光学晶体平面镜
【摘 要】
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从单晶锗光学晶体结构入手,深入分析了光学晶体材料切屑切除与晶体结构方位的关系,确定了材料产生剪切滑移的最佳晶向,据此提出了在这些晶向上对单晶锗进行飞切加工的新工艺,
【机 构】
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长春光学精密机械学院精密机械工程系长春,吉林工业大学,中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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机械工程学报
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家重点实验室基金;
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