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分析了共光路外差干涉仪光路中几个组成元件的调整方法,包括入射光位置的调整、渥拉斯顿棱镜位置的调整、被测表面位置的调整等.
外差干涉仪中光路调整的分析
【摘 要】
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分析了共光路外差干涉仪光路中几个组成元件的调整方法,包括入射光位置的调整、渥拉斯顿棱镜位置的调整、被测表面位置的调整等.
【机 构】
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哈尔滨工业大学机电学院,黑龙江,哈尔滨,150001
【出 处】
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城市道桥与防洪
【发表日期】
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2004年期
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