Surface Modification of PVD-TiN Films Using MEVVAIon Implantation

来源 :材料热处理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wenfei87827
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Ti ion implantation was implanted into PVD-TiN films using a metal vapor vacuum arc (MEVVA) ion source implanted zone was measured and compared to the performance of unimplanted zone by a pin-on-disc apparatus and an optical interference microscope. The structure of the implanted zone and unimplanted zone was observed by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and high voltage electron microscopy (HVEM). The wear mechanisms of the TiN film after ion implantation were discussed according to the results of XPS and HVEM.
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