【摘 要】
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Krafos 分析仪器公司已编写成一本应用手册,用来介绍俄歇扫描显微探针是如何去解决半导体工业中的各种问题的,诸如表面分析仪器中所要求的空间高分辨率及灵敏度等。该手册也
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Krafos 分析仪器公司已编写成一本应用手册,用来介绍俄歇扫描显微探针是如何去解决半导体工业中的各种问题的,诸如表面分析仪器中所要求的空间高分辨率及灵敏度等。该手册也展示了光谱及元素图谱,以显示半导体的显微结构中铝、钨和硅的空间分布。而 Loughborough 咨询有限公司声称,
Krafos Analytical Instruments has written an application note describing how Auger scanning microprobes can solve a variety of problems in the semiconductor industry such as the high spatial resolution and sensitivity required in surface analysis instruments. The handbook also shows spectra and elemental spectra to show the spatial distribution of aluminum, tungsten and silicon in the semiconductor’s microstructure. Loughborough Consulting Limited claims,
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本文系作者在1988年6月上海市冶金工业局召开的科技工作会议上的讲话,藉此读者可概要了解上海冶金工业的发展现状、存在问题及今后2～3年的发展纲要,限于篇幅征得作者同意作了