论文部分内容阅读
建立了由微机械薄膜变形镜(MMDM)构成的微小型自适应光学系统,该系统具有低成本、低能耗、体积小的特点.在实验中验证了MMDM单个电极控制电压与其变形量的近似平方关系以及各电极产生形变的近似线性叠加关系.用叠代算法来控制MMDM,对系统进行了闭环实验与分析,结果表明此类系统可应用于星载光学系统.