溶胶-凝胶方法制备铁酸铋薄膜及膜厚的影响

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以溶胶-凝胶方法制备不同厚度的铁酸铋(BiFeO3,BFO)薄膜,XRD分析表明,BFO薄膜呈钙钛矿相结构,且随着厚度的增加,薄膜的结晶性变好.而薄膜厚度为4层(200 nm)至8层(400 nm)之间,其微观结构可能发生由赝立方相向三方相的转变.同时,随着膜厚的增加,BFO薄膜的介电性能得到改善,绝缘性能得到提高,铁电性能也相应地好转.
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