高灵敏复合光波导硫化氢气体传感器的研究

来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kezhixiao
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通过浸渍提拉法制备出TiO2薄膜/锡掺杂玻璃复合光波导(OWG)元件,在其表面利用旋转甩涂法固定一层酞菁锌(ZnPc)敏感层,制备了高灵敏度的硫化氢(H2S)复合()WG气体传感器.优化传感器的制备条件,当提拉机的提拉速度为80 mm ? min-1、匀胶机转速为1600 r ? min-1、ZnPc的质量分数为0.05%时,该传感器对H2S气体的选择性响应最佳,可以检测到体积分数为1×10-9的H,S气体.此外,该传感器在一个月内表现出良好的稳定性.
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