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X 光检查低角度反射率测量被用来调查单身者和 bilayer 电影决定纳米规模结构的参数，三个有效方法被使用 X 光检查反射率分析提供纳米电影结构的一个精确评价介绍。钨(W) 单身者层的参数例如材料密度，连接粗糙和免职率，容易并且快速地被获得。贱金属层被介绍测量单身的低 Z 材料电影的侧面。0.3 nm 铬(Cr ) 电影被低角度反射率分析也学习。CCL 数字 O484 Antrag GZ 398， Ghinesisch-Deutsches Zentrum f 眉 r Wissenschaftsf ? r