扫描探针电子显微镜综述

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新的设计思想带来新的技术革命,STM巧妙地利用探针近场(近距离)探测方法、隧道电流理论、压电陶瓷扫描方法等现代科学技术,大大扩展了显微技术的深度。借鉴STM的方法,许多新型的显微仪器和探测方法相继诞生。这些显微仪器适用于不同的领域,具有不同的功能。虽然它们功能各异,但都有一个共同的特点:使用探针在样品表面进行扫描。科学界把这类显微仪器归纳到一起,统称为扫描探针显微镜。本文分别对扫描探针显微镜家族中的原子力显微镜,近场光学显微镜和弹道电子发射显微镜的性能和特点进行综述。
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