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采用六氯二硅乙烷与乙醇的酯化反应制得六乙氧基二硅乙烷。考察了加料方式、酯化温度、乙醇用量和N2流量等对产物收率的影响。较佳工艺为：乙醇与六氯二硅乙烷的量之比为6.05∶1、加料采用乙醇滴加方式、程序升温控制、N2流量1.0 L/min、真空度0.02 MPa,此时产物的摩尔收率为89.2%;经红外光谱和质谱分析,证实产物为六乙氧基二硅乙烷。