【摘 要】
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MEMS加速度传感器结构及其系统的设计是为了满足稳定性好,可靠性高,耐温性好的需求,其精度取决于加速度传感器的结构、电路设计以及制造工艺.首先,采用了创新的微机电系统设
【机 构】
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北京科技大学天津学院智能制造学院, 天津 301830;北京科技大学天津学院智能制造学院, 天津 301830;北京科技大学天津学院智能制造学院, 天津 301830;北京科技大学天津学院智能制造学院
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MEMS加速度传感器结构及其系统的设计是为了满足稳定性好,可靠性高,耐温性好的需求,其精度取决于加速度传感器的结构、电路设计以及制造工艺.首先,采用了创新的微机电系统设计,闭环伺服电路设计.与传统的加速度传感器相比,结构更加简单,其次,采用了先进的软贴片工艺与系统结构相结合,然后对其中所用的控制器进行了详细的分析、设计.通过实验验证,可以有效改善并提升其可靠性、标定因数重复性、耐温性及其稳定性.
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