【摘 要】
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针对高温氧化扩散炉设备工艺温度需求，提出了高性能多段炉温控制系统与整定技术。系统各段加温区控制与整定采用各自独立通道，系统通过主动调节各通道激励信号，同时获得各段炉体
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针对高温氧化扩散炉设备工艺温度需求，提出了高性能多段炉温控制系统与整定技术。系统各段加温区控制与整定采用各自独立通道，系统通过主动调节各通道激励信号，同时获得各段炉体的谐波平衡信号，从而获得临界周期与临界增益，最终通过Z-N法获得多段炉体PID参数。实验表明，改进的多段炉体整定技术参数稳定有效，时间缩短。利用整定参数进行温度工艺控制实验，实验结果达到氧化扩散工艺要求。
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