【摘 要】
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TiCN薄膜的耐蚀性研究对于扩大其应用领域具有重要作用。采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在304不锈钢表面制备了TiCN薄膜，研究了工艺参数中脉冲偏压对薄膜结构与耐蚀
【机 构】
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辽宁工程技术大学材料科学与工程学院,天津师范大学物理与材料科学学院,冠铨（山东）光电科技有限公司
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TiCN薄膜的耐蚀性研究对于扩大其应用领域具有重要作用。采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在304不锈钢表面制备了TiCN薄膜，研究了工艺参数中脉冲偏压对薄膜结构与耐蚀性能的影响规律。结果表明：随着脉冲偏压幅值的增大，TiCN薄膜表面白色颗粒、针孔及凹坑的尺寸、数量减少，其表面形貌得到改善，薄膜主要由TiCN相组成，随着偏压幅值的增加出现（111）晶面择优取向；随着脉冲偏压幅值的增大，TiCN薄膜在3．5％NaCl中的耐蚀性逐渐提高，在偏压为一300V时薄膜的自腐蚀电流密度为3．853μA／cm2，是
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