【摘 要】
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研究了光刻过程中由于抗蚀剥离剂引起砷化镓表面的沾污。发现在剥离剂中浸泡以后再经过热处理的片子,表面附近的电子浓度下降。沾污深度有时甚至达到100微米。这样的沾污可以通过轻微腐蚀砷化镓的沾污表面或在热处理前将砷化镓片放到稀释的氰化钾（KCN）溶液中浸泡来消除。并且断定沾污来自抗蚀膜剥离剂中的铜原子。
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研究了光刻过程中由于抗蚀剥离剂引起砷化镓表面的沾污。发现在剥离剂中浸泡以后再经过热处理的片子,表面附近的电子浓度下降。沾污深度有时甚至达到100微米。这样的沾污可以通过轻微腐蚀砷化镓的沾污表面或在热处理前将砷化镓片放到稀释的氰化钾（KCN）溶液中浸泡来消除。并且断定沾污来自抗蚀膜剥离剂中的铜原子。
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