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采用等离子体增强化学气相沉积技术，以C2H2、H2和N2为反应气体，制备出碳纳米管薄膜．利用扫描电镜和拉曼光谱仪对其进行表征．结果表明：气体流量大小对碳纳米管薄膜的生长起着重要作用，获得定向性良好、分布均匀、密度适中的碳纳米管的合适比例是C2H2：H2：N2=30：30：10（seem）．
气体流量对碳纳米管制备的影响
【摘 要】
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采用等离子体增强化学气相沉积技术，以C2H2、H2和N2为反应气体，制备出碳纳米管薄膜．利用扫描电镜和拉曼光谱仪对其进行表征．结果表明：气体流量大小对碳纳米管薄膜的生长起着重要作
【机 构】
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渭南师范学院物理与电气工程学院
【出 处】
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渭南师范学院学报
【发表日期】
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2012年6期
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