【摘 要】
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为有效去除铜片表面难溶的、具有复杂结构的铜-BTA,主要对铜片清洗过程中起关键作用的清洗液的组分和浓度进行了研究。采用自主研发的FA/O II型螯合剂作为清洗液,反复进行了
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为有效去除铜片表面难溶的、具有复杂结构的铜-BTA,主要对铜片清洗过程中起关键作用的清洗液的组分和浓度进行了研究。采用自主研发的FA/O II型螯合剂作为清洗液,反复进行了大量实验。结果表明,当FA/O II型螯合剂体积分数为7.5%,清洗液pH值为10.05时,能有效去除铜-BTA和表面的其他颗粒物,接触角可降到28.5°,同时该清洗液不会在表面沾留和造成腐蚀,表面粗糙度可降到3.52 nm。此外,通过红外测试铜-BTA所在的波段,利用电化学工作站验证了铜-BTA膜的存在,并进一步验证了实验结果。通过与KOH配制的相同pH值的清洗液进行对比,接触角和表面粗糙度均无较大变化,从而确定FA/O II型螯合剂对铜-BTA的去除起主要作用。
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