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叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差主要来源,分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节,提出了提高主轴稳速精度具体设计方案.
磁盘伺服图形光刻机主轴稳速系统设计
【摘 要】
：
叙述了影响磁盘伺服图形光刻机主轴转速误差主要来源,分析了主轴稳速系统是实现光刻机均匀刻录不可缺少的重要环节,提出了提高主轴稳速精度具体设计方案.
【机 构】
：
华中科技大学
【出 处】
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小型微型计算机系统
【发表日期】
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2003年10期
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