【摘 要】
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本文以高世代线性蒸发源温控系统的开发为研究对象,基于现有蒸发源温控系统的工艺技术,设计一系列加热系统和冷却系统分布方案,运用热辐射ANSYS分析软件模拟分析冷却及加热系
【机 构】
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上海升翕光电科技有限公司 上海 201506
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本文以高世代线性蒸发源温控系统的开发为研究对象,基于现有蒸发源温控系统的工艺技术,设计一系列加热系统和冷却系统分布方案,运用热辐射ANSYS分析软件模拟分析冷却及加热系统对热场分布的影响,结合温度控制的要求,对原先的蒸发系统进行精确化的温度控制,通过系统的加热与冷却两个系统的智能化控制,解决了原先该类器械温度梯度分布差异大、局部温度过高的问题.为后续相关学者实现蒸发源高精度、高稳定性蒸镀方面提供参考.
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