【摘 要】
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基于等效媒质理论设计了NiCr四层渐变膜系。以4：1的NiCr合金靶材，氧气和氮气为反应气体，氩气为工作气体，用磁控反应溅射法制备蓝色NiCr系太阳能光谱选择性吸收薄膜。测试分析
【机 构】
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合肥工业大学机械与汽车工程学院真空科学技术与装备研究所合肥230009
【出 处】
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TFC‘2011全国薄膜学术研讨会
论文部分内容阅读
基于等效媒质理论设计了NiCr四层渐变膜系。以4：1的NiCr合金靶材，氧气和氮气为反应气体，氩气为工作气体，用磁控反应溅射法制备蓝色NiCr系太阳能光谱选择性吸收薄膜。测试分析薄膜成分、微观结构、厚度、吸收比和发射率对薄膜性能的影响。测试结果表明两层吸收膜的吸收比大于单层吸收膜；单层吸收膜的吸收比随填充因子的增大而增大；当单层吸收膜的填充因子在两层吸收膜的填充因子之间时，两层吸收膜的发射率小于单层吸收膜；两层吸收膜的吸收比随减反射层厚度的增大先增大后减小，发射率则一直增大。为多层铜基NiCr系阳光吸收膜磁控溅射沉积制备工艺提供了理论依据。
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