【摘 要】
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原子力显微镜（AFM）是进行纳米材料力学特性（如材料黏弹性）测量的重要工具．压电陶瓷驱动器作为AFM的核心部件，由于其迟滞和蠕变特性的影响，致使在材料黏弹性纳米测量过程中，不仅测量速
【机 构】
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燕山大学电气工程学院,美国新泽西州立大学机械与航空工程系
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原子力显微镜（AFM）是进行纳米材料力学特性（如材料黏弹性）测量的重要工具．压电陶瓷驱动器作为AFM的核心部件，由于其迟滞和蠕变特性的影响，致使在材料黏弹性纳米测量过程中，不仅测量速度慢，而且测量误差较大．为了解决以上问题，提出一种基于逆的迭代学习控制方法．通过在频域内学习系统的动态特性，补偿AFM的z轴动态误差，从而实现AFM系统的快速准确定位．该方法不仅避免了复杂的AFM系统建模过程，而且提高了系统输出时期望输入的跟踪精度．用美国DI公司的纳米原位测量仪对聚二甲基硅氧烷（PDMS）的纳米黏弹性进行了测
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