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目前国内尚未建立在片矢量网络分析仪测试系统的有效溯源途径，随着微电子行业的高速发展，在片模式下测量的散射参数的计量问题急需解决。为达到量值一致、可靠的目的，论文针对在片矢量网络分析仪测试系统提出了量值比对方案，提出采用失配衰减单片作为传递标准。对比对结果的数据统计方法进行了探讨，同时采用两种统计方法进行离群值剔除，采用各实验室测量值的算术平均值作为参考值，推导出这种情况下比对结果的归一化偏差 En值。