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对高效臭氧发生装置中臭氧浓度的在线测量进行了研究,提出了神经网络与机理分析结合的软测量方法,通过机理分析明确臭氧浓度软测量所涉及的辅助变量为放电功率W和换算到大气压的原料气体流量Q。并用BP改进算法中的BFGs拟牛顿法和Levenberg-Marquardt法进行了多次试验。通过实验验证,这种混合软测量方法是有效的,为臭氧浓度的现场测量提供了一个新思路。