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<正> 目前,世界各国对硅材料的要求主要集中在以下三个方面: 1.生产高质量、低成本的硅片及太阳能硅片; 2.生产用于大规模和超大集成电路的高质量硅材料; 3.能够有效地控制氧、碳及其它杂质含量。
硅单晶设备的发展方向
【摘 要】
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<正> 目前,世界各国对硅材料的要求主要集中在以下三个方面: 1.生产高质量、低成本的硅片及太阳能硅片; 2.生产用于大规模和超大集成电路的高质量硅材料; 3.能够有效地控制氧
【机 构】
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陕西机械学院
【出 处】
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电炉
【发表日期】
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1986年04期
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