【摘 要】
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利用磁悬浮技术实现了微进给机构的运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题.采用主动可控电磁阻尼系统,控制线圈的电流即可
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利用磁悬浮技术实现了微进给机构的运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题.采用主动可控电磁阻尼系统,控制线圈的电流即可控制系统的阻尼,可根据实际应用场合,确定采用恒定阻尼还是时变阻尼.对磁悬浮微进给机构实施PID控制,并进行了仿真试验.结果表明:当阻尼恒定不变时,应使C2=0.5～1.0,机构的位移控制超调量≤0.933%,绝对稳态误差值≤1.77～2.30 μm;当采用时变阻尼系统时,位移控制超调量≤3.617%,绝对稳态误差值≤0.033 μm,运动控制达
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