【摘 要】
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以Fe3O4纳米粒子为催化剂,CH4,B2H6和H2为气源,采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积技术(ECR-CVD)在多孔硅基底上制备出了掺硼碳纳米管薄膜使用扫描电子显微镜(SEM)、
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以Fe3O4纳米粒子为催化剂,CH4,B2H6和H2为气源,采用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积技术(ECR-CVD)在多孔硅基底上制备出了掺硼碳纳米管薄膜使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、能量色散X射线谱(EDX)和X射线光电子谱(XPS)对样品的形貌、结构及组分进行表征结果表明:通入B2H6后,纳米管的形貌和结构均发生了变化生长气氛中硼的存在使得高取向性密集碳纳米管转变为较为分散且取向性很差的纳米管从中空结构转变为类竹节结构,同时多壁管外径增大,管壁增厚,表面变得粗糙,并导致
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