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介绍了半导体位敏器件（ＰＳＤ）的原理及特点，光切法测量微小位移原理以及利用ＰＳＤ和光切法测量的有关光路和信号处理电路。该装置可实现对金属及非金属表面位移的非接触测量。
位敏器件及在微小位移测量中的应用
【摘 要】
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介绍了半导体位敏器件（ＰＳＤ）的原理及特点，光切法测量微小位移原理以及利用ＰＳＤ和光切法测量的有关光路和信号处理电路。该装置可实现对金属及非金属表面位移的非接触测量。
【机 构】
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合肥工业大学
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1996年04期
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