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本文详细介绍了ＲＦ放电中的四电极系统，并对其纵向电位分布、横截面上的电场分布及有关放电特性进行了深入的探讨。
RF放电中的四电极系统及其有关特性
【摘 要】
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本文详细介绍了ＲＦ放电中的四电极系统，并对其纵向电位分布、横截面上的电场分布及有关放电特性进行了深入的探讨。
【机 构】
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激光技术国家重点实验室
【出 处】
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光电子．激光
【发表日期】
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1996年3期
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