【摘 要】
：
对比传统的平面型晶体管,总结了三维立体结构FinFET器件的结构特性。结合MOS器件栅介质材料研究进展,分别从纯硅基、多晶硅/高k基以及金属栅/高k基三个阶段综述了Fin-FET器件
论文部分内容阅读
对比传统的平面型晶体管,总结了三维立体结构FinFET器件的结构特性。结合MOS器件栅介质材料研究进展,分别从纯硅基、多晶硅/高k基以及金属栅/高k基三个阶段综述了Fin-FET器件的发展历程,分析了各阶段FinFET器件的材料特性及其在等比缩小时所面临的关键问题,并着重从延迟时间、可靠性和功耗三方面分析了金属栅/高k基FinFET应用于22 nm器件的性能优势。基于短沟道效应以及界面态对器件性能的影响,探讨了FinFET器件尺寸等比缩小可能产生的负面效应及其解决办法。分析了FinFET器件下一步可能的发展方向,主要为高迁移率沟道材料、立体型栅结构以及基于新原理的电子器件。
其他文献
本文以WTO中的反倾销协议为基本依据,对倾销的法律内涵、倾销确定的两个基本前提条件：倾销价格的确定和损害的确定、征收反倾销税的基本规定以及＂乌拉圭回合＂最终文件中的反倾销
信托投资公司是链接产业资本和金融资本的金融企业,服务意识是金融业的生存之本,公司应该树立和强化以人为本,客户为中心的营销理念.信托投资公司建立营销体系,可以实行三步
<正>陆文夫说,王蒙首先是一个诗人。与小说家相比,王蒙的个性更接近于王国维所说的"主观的诗人",这决定了王蒙是一个长于内心表达的作家。但就审美经验而言,王蒙深具历史感的
在中国加入WTO以后,国内市场的国际化对中国企业提出了更高更新的发展要求.在这种新的环境下,中国企业只有广泛应用ERP系统,才能优化和加强企业的运营和管理.
<正>去年的韩国信用卡危机,完全是韩国有关方面无视信用卡发展规律造成的(详情请参见《韩国信用卡"大跃进"始末》)。几乎在风险控制的每个环节,相关部门都有"玩火"之嫌。