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使用低束流技术 ,在高分辨率扫描质子微探针装置上开展了离子束感生电荷显微术 ,并研究了半导体材料 Ga As的电子学性能。实验结果表明 ,在同一扫描区域内 ,材料的电荷收集效率具有不均匀特性 ,而且氦离子激发产生的 IBIC显微图谱的对比度比质子要强。更多还原
离子束感生电荷显微术的研究
【摘 要】
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使用低束流技术 ,在高分辨率扫描质子微探针装置上开展了离子束感生电荷显微术 ,并研究了半导体材料 Ga As的电子学性能。实验结果表明 ,在同一扫描区域内 ,材料的电荷收集效
【机 构】
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中科院上海原子核研究所!核分析开放实验室,上海201800
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2000年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金和中科院“九五”重大资助项目
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