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传统的接触式测量方法很难实现由多个非连续铅垂面形成大平面的平面度的检测。提出一种基于激光跟踪原理对空间点的坐标进行测量，采用“最小条件”法为基础的共面性评价方法，实现了对由多个非连续铅垂面形成大平面的平面度的高精度测量，实际测得共面度为0．043mm。
基于激光跟踪原理的铅垂面共面度测量新方法
【摘 要】
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传统的接触式测量方法很难实现由多个非连续铅垂面形成大平面的平面度的检测。提出一种基于激光跟踪原理对空间点的坐标进行测量，采用“最小条件”法为基础的共面性评价方法，实
【机 构】
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长春理工大学生命科学学院,长春理工大学光电工程学院
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2008年4期
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