【摘 要】
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利用激光刻图机对Ba0.5Sr0.5Co0.8Fe0.2O3-δ（BSCFO）透氧膜表面进行刻蚀,以提高膜表面的比表面积,改善膜的氧表面交换能力,从而达到提高透氧量的目的.研究结果表明,激光刻蚀在
【机 构】
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郑州大学物理工程学院,河南S-业大学材料科学与工程学院
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利用激光刻图机对Ba0.5Sr0.5Co0.8Fe0.2O3-δ（BSCFO）透氧膜表面进行刻蚀,以提高膜表面的比表面积,改善膜的氧表面交换能力,从而达到提高透氧量的目的.研究结果表明,激光刻蚀在膜表面形成宽150μm,深25μm的条纹,可以显著提高膜表面的比表面积.XRD图谱显示,激光刻蚀不会引起BSCFO相结构的变化.透氧量测试表明,激光刻蚀可以增大透氧量,十字交叉双面刻蚀效果更加显著.十字交叉双面刻蚀后,其透氧量比未用激光处理的样品提高了大约34%.
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