【摘 要】
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基于微机电系统（Micro-electro-mechanical systems,MEMS）技术,制作了微型气相色谱柱,并对其性能进行了研究。与传统色谱柱相比,此微型色谱柱具有体积小,分析速度快等特点,适用
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京市劳动保护科学研究所
【基金项目】
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本文系国家自然科学基金（No.60976088）资助项目
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基于微机电系统（Micro-electro-mechanical systems,MEMS）技术,制作了微型气相色谱柱,并对其性能进行了研究。与传统色谱柱相比,此微型色谱柱具有体积小,分析速度快等特点,适用于在线检测分析与监测。本研究利用深刻蚀技术与动态涂覆固定相的方法,设计制作了0.5,1.0及3.0 m色谱柱,实现了对苯,甲苯和邻二甲苯的分离。其中,3.0 m色谱柱对甲苯和邻二甲苯的分离度达14.3,理论板塔数达6160,分离时间少于200 s。考察了柱长对色谱柱分离性能的影响。此微型色谱柱可广泛应用
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