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建立了一个适用于描述低能电子散射的物理模型，利用Monte Carlo方法对低能电子在多元多层介质中的散射过程进行模拟。低能电子弹性散射采用较严格的Mott截面描述，为了节约机时，利用查表与线性插值方法获得Mott截面值；低能电子非弹性散射能量损失采用Joy修正的Bethe公式计算，并对其加以改进，引入多元介质平均电离电位、平均原子序数、平均原子量概念，利用线性插值方法给出光刻胶PMMA对应的k值。对电子穿越多层介质提出一种新的边界处理方法。在此基础上运用Monte Carlo方法模拟高斯分布低能电子束在