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电子级多晶硅金属杂质含量是评价其产品质量的重要指标之一,其杂质含量的高低直接影响影响下游晶圆制造产品质量,所以对其金属杂质含量的控制至关重要,本文主要从精馏、还原及后处理生产过程中每个环节浅析电子级多晶硅金属杂质的引入源,同时提出相应控制措施。
电子级多晶硅金属杂质来源探讨
【摘 要】
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电子级多晶硅金属杂质含量是评价其产品质量的重要指标之一,其杂质含量的高低直接影响影响下游晶圆制造产品质量,所以对其金属杂质含量的控制至关重要,本文主要从精馏、还原
【机 构】
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江苏鑫华半导体材料科技有限公司
【出 处】
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山东化工
【发表日期】
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2018年20期
【基金项目】
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国家重大专项(02专项);极大规模集成电路制造技术及成套工艺(2014ZX02404)
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